扫描电子显微镜SEM-6510原理

艾先生   134-2890-5334  -6154  

 日本电子扫描电镜 SEM-6510

 微细结构测量

适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。

 可信赖的真空系统

真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。

  同时显示两幅图像

画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。 

 扫描电镜JSM-6510规格保证分辨率3.0nm（30kV）

8.0nm（3kV）
15nm（1kV）放大倍数5至300,000x加速电压0.5kV至30kV电子枪工厂预对中灯丝聚光镜变焦聚光镜物镜锥形物镜样品台全对中样品台X-Y80mm-40mmZ5mm至48mm旋转360°倾斜－10°至＋90°排气系统
（高真空模式）DPx1，RPx1排气系统
（低真空模式）DPx1，RPx2

 从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙

分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。

 工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。

 

 操作窗口

直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。